01 / SPECIFICATIONS
技术规格
| 载具材料 | PFA |
|---|---|
| 适用晶圆 | 2–12 英寸 |
| 资料列示材料耐温范围 | −200 to 260 °C |
02 / FEATURES
主要特点
- 可按要求设计载具
- PFA 材料
03 / APPLICATIONS
应用方向
选型说明
- 温度范围是原册材料耐温描述，不能作为负载花篮的工艺额定值；使用条件按图纸确认。
图片来源：Purefilter · PDF 页 12
PRODUCT SERIES / Purefilter
UM-PFA-FB
PFA 晶圆清洗花篮
PFA 晶圆载具，用于半导体刻蚀部门的酸碱处理与晶圆转移。
- 系列型号
- UM-PFA-FB
- 资料品牌
- Purefilter
- 资料页码
- PDF 12
UM-PFA-FB，原产品册图片
