01 / SPECIFICATIONS
技术规格
| 载具材料 | PFA |
|---|---|
| 适用晶圆 | 4 / 6 英寸 |
02 / FEATURES
主要特点
- PFA 结构
03 / APPLICATIONS
应用方向
选型说明
- 原页仅列材料与适用晶圆尺寸；槽数、尺寸与工艺温度需按具体图纸确认。
图片来源：DEEFINE 帝凡 · PDF 页 23
PRODUCT SERIES / DEEFINE 帝凡
PFA cleaning basket
PFA 晶圆清洗花篮
PFA 清洗花篮，用于 4 英寸与 6 英寸硅片及晶圆的工艺搬运。
- 系列型号
- PFA cleaning basket
- 资料品牌
- DEEFINE 帝凡
- 资料页码
- PDF 23
PFA cleaning basket，原产品册图片
