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EXafPure WF 全氟折叠筒式滤芯
EXafPure WFMembrane Solutions 迈博瑞

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PRODUCT SERIES / Membrane Solutions 迈博瑞

EXafPure WF

全氟折叠筒式滤芯

PTFE 膜配合 PFA 支撑与结构,面向半导体 Wet 工艺中的高纯化学液体。

系列型号
EXafPure WF
资料品牌
Membrane Solutions 迈博瑞
资料页码
PDF 6

EXafPure WF,原产品册图片

01 / SPECIFICATIONS

技术规格

滤膜 / 滤材PTFE
支撑 / 导流层PFA
外壳PFA
密封圈TEV / FFKM
过滤精度10 / 20 / 30 / 50 nm; 0.1 / 0.2 μm
过滤面积Φ68:SX 0.91、SY 1.2 m² / 10 英寸;Φ83:MX 1.8、MY 2.2、MZ 2.8 m² / 10 英寸
最大正向压差0.5 MPa @ 25 °C; 0.2 MPa @ 100 °C; 0.05 MPa @ 180 °C
最大反向压差0.35 MPa @ 25 °C
最高工作温度180 °C
金属洁净度≤3 / ≤10 / ≤25 / ≤40 μg/device;电子级

02 / FEATURES

主要特点

  • 多种直径与膜面积配置
  • 干包装及超纯水预湿包装

03 / APPLICATIONS

应用方向

湿法蚀刻与清洗SC1 / SC2 / 49% HF / HNO₃ / EKC / NMP

选型说明

  • 温压表适用于原册标注的筒式滤芯;不扩展为所有一体式配置。
LET’S FIND THE RIGHT FIT

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