01 / SPECIFICATIONS
技术规格
| 过滤介质 | 改性 PTFE |
|---|---|
| 支撑及结构件 | PFA |
| 标称截留档位 | 半导体目录：2 nm–0.5 μm |
| 最高工作温度 | X1/X2/Z1/Z2/Z3 建议低于 120°C；一次性 E4/E5 不高于 180°C |
| 最高工作压力 | 一次性 0.58 MPa @ 25°C；0.097 MPa @ 180°C |
| 最大正向压差 | 滤芯 0.49 MPa @ 25°C |
| 最大反向压差 | 滤芯 0.39 MPa @ 25°C |
| 过滤面积 | X1 0.91；X2 1.21；Z1 1.3；Z2/E4 2.2；Z3/E5 3.0 m²/10″ |
02 / FEATURES
主要特点
- 支持干态和超纯水预湿供货形式。
03 / APPLICATIONS
应用方向
选型说明
- 另附 CHR 独立数据表第 2、5 页列出不同配置命名和 5 nm 起始档位；本页面参数以半导体目录为依据，订货须核对当前受控版本。
