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Chemphobic CHT Chemphobic 超纯化学品过滤器
Chemphobic CHTCobetter

图片来源:Cobetter · PDF 页 15

PRODUCT SERIES / Cobetter

Chemphobic CHT

Chemphobic 超纯化学品过滤器

疏水 PTFE 膜配合 PFA 结构件,提供滤芯、一次性及小型在线形式,适用于需核对温度的腐蚀性工艺化学品。

系列型号
Chemphobic CHT
资料品牌
Cobetter
资料页码
PDF 15, 16, 17

Chemphobic CHT 产品图,摘自 Cobetter 半导体过滤目录。

01 / SPECIFICATIONS

技术规格

过滤介质疏水 PTFE
支撑及结构件PFA
密封材料TEV / FFKM / TEE(滤芯)
最高工作温度目录滤芯及一次性上限 180°C;高于 120°C 建议改选 Chemrapid
最高工作压力一次性 0.58 MPa @ 25°C;0.097 MPa @ 180°C
最大正向压差滤芯 0.49 MPa @ 25°C
最大反向压差滤芯 0.39 MPa @ 25°C
过滤面积X1 0.91;X2 1.21;Z1 1.3;Z2 2.2;Z3 3.0 m²/10″

02 / FEATURES

主要特点

    03 / APPLICATIONS

    应用方向

    半导体湿法刻蚀与清洗

    选型说明

    • 小型在线 X/SX/EO/EX 的温压上限不同;180°C 不能套用于小型在线产品。
    LET’S FIND THE RIGHT FIT

    把下一道过滤需求,交给一次专业交流。

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