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UM-SLPF-V 半导体气体过滤器
UM-SLPF-VPurefilter

图片来源:Purefilter · PDF 页 8

PRODUCT SERIES / Purefilter

UM-SLPF-V

半导体气体过滤器

PTFE 滤膜与氟聚合物支撑,配合电解抛光 316L 壳体用于半导体气体。

系列型号
UM-SLPF-V
资料品牌
Purefilter
资料页码
PDF 8

UM-SLPF-V,原产品册图片

01 / SPECIFICATIONS

技术规格

滤膜 / 滤材PTFE
外壳电解抛光 316L
支撑 / 导流层氟聚合物
设计压力5.2 MPa @ 140 °C
最大正向压差0.7 MPa @ 20 °C
最大反向压差0.34 MPa @ 20 °C
连接接口1/4 / 1/2 / 3/4 in VCR 型,及卡套接口选项

02 / FEATURES

主要特点

  • 电解抛光 316L 壳体
  • VCR 型与卡套接口可选

03 / APPLICATIONS

应用方向

半导体工艺气体

选型说明

  • 原册精度同时写“23 nm”和“0.003 μm”,二者不等;精度未作为确认参数发布。
LET’S FIND THE RIGHT FIT

把下一道过滤需求,交给一次专业交流。

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