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Keevalid VDKD / VDKR Keevalid CMP 深层过滤器
Keevalid VDKD / VDKRCobetter

图片来源:Cobetter · PDF 页 42

PRODUCT SERIES / Cobetter

Keevalid VDKD / VDKR

Keevalid CMP 深层过滤器

通过梯度 PP 微纤维与纳米纤维结构管理 CMP 浆料中的大颗粒,提供熔喷和卷绕介质形式。

系列型号
Keevalid VDKD / VDKR
资料品牌
Cobetter
资料页码
PDF 42, 43, 44

Keevalid VDKD / VDKR 产品图,摘自 Cobetter 半导体过滤目录。

01 / SPECIFICATIONS

技术规格

过滤介质VDKD 熔喷 PP;VDKR 卷绕 PP
支撑及结构件PP
密封材料TEV / EPDM
最高工作温度滤芯 80°C
最高工作压力滤芯 0.3 MPa @ 21°C
结构形式滤芯及多种囊式结构

02 / FEATURES

主要特点

  • 超纯水冲洗;用于 STI、W 和 Cu 等浆料的选型评估。

03 / APPLICATIONS

应用方向

CMP 浆料过滤

选型说明

  • 滤芯与囊式结构的温压条件不同;囊式选型须按具体接口和配置核对。
  • 目录标题与正文截留范围不同;本摘要不将二者合并为统一保证范围,具体档位按第 43–44 页订货表核对。
LET’S FIND THE RIGHT FIT

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