01 / SPECIFICATIONS
技术规格
| 过滤介质 | PE / Nylon / Multi / PI |
|---|---|
| 支撑及结构件 | HDPE |
| 外壳 | HDPE |
| 密封材料 | FFKM / Kalrez |
| 最高工作温度 | 40°C |
| 最高工作压力 | 0.34 MPa @ 25°C |
| 过滤面积 | SINM/CINM PE 1200 cm²；SINL/CINL PE 2400 cm²；其他膜材按表 |
| 流向 | SIN 侧进；CIN 中心进液 |
02 / FEATURES
主要特点
03 / APPLICATIONS
图片来源：Cobetter · PDF 页 37
PRODUCT SERIES / Cobetter
Photogile SIN / CIN
Photogile SIN / CIN 光刻过滤器
侧进或中心进液的光刻使用点过滤器，提供多种膜材及 M/L 尺寸。
- 系列型号
- Photogile SIN / CIN
- 资料品牌
- Cobetter
- 资料页码
- PDF 37, 38
Photogile SIN / CIN 产品图，摘自 Cobetter 半导体过滤目录。
