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GasPuriadv POU GasPuriadv 使用点气体纯化器
GasPuriadv POUCobetter

图片来源:Cobetter · PDF 页 90

PRODUCT SERIES / Cobetter

GasPuriadv POU

GasPuriadv 使用点气体纯化器

在接收、储存及使用点环节,对气体中的挥发性有机物、酸、碱等污染物进行吸附纯化。

系列型号
GasPuriadv POU
资料品牌
Cobetter
资料页码
PDF 90, 91

GasPuriadv POU 产品图,摘自 Cobetter 半导体过滤目录。

01 / SPECIFICATIONS

技术规格

外壳316L 不锈钢
适用气体CDA / N₂ / Ar / He
最高工作温度50°C
最高工作压力0.98–1 MPa @ 25°C
连接形式1/2″(可选 1/4″、3/4″、3/8″、1″)SW;VCR/BSPP/BSPT 选项
目录气体截留率≥99.9%:≥C6 挥发烃、挥发酸(如 SO₂)、挥发碱(如 NH₃)

02 / FEATURES

主要特点

    03 / APPLICATIONS

    应用方向

    半导体高纯气体系统

    选型说明

    • 目录过滤膜与粒径行包含多种材料和 0.003/0.3 μm 表述;未将其简化为一个通用绝对精度。吸附去除指标需结合污染物、入口负荷和验收方法核对。
    LET’S FIND THE RIGHT FIT

    把下一道过滤需求,交给一次专业交流。

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